微构件弯曲加载机构结构总体方案设计

高美玲

黑龙江省冶金研究所

摘　要

随着微机械的发展,实际时对应机械微构建不但要实现功能性设计,还需要考虑材料特性参数对设计部件的影响,而微构件力学特性数据对MEMS机构设计具有重要影响,因此需要一种可以获取微构件力学特性的测试方法。文章以微梁弯曲法为基础,建立适用于微机构力学特性测量方法的基本模型,为今后维纳力学特性的高准确度测量研究与开发提供研究基础。

关键词

微机械；材料力学；弯曲法

分类号

TH112

栏　目

实用技术

出　处

《冶金与材料》2018年第6期，第 113+115 页（共 2 页）

出版日期

2018-12-15

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