大面积等离子体微波反应器的设计与仿真

卫博

北京真空电子技术研究所

摘　要

针对微波等离子体装置的应用领域,设计一种具有大面积等离子体的微波反应器结构。首先通过理论分析设计出微波等离子体反应器的主要结构并计算其基本结构参数,确定微波反应器的工作模式,然后利用电磁仿真计算微波反应器的电场分布及其大小,确定最优结构参数。

关键词

大面积等离子体；915MHz频率微波反应器；电场分布；电磁仿真

分类号

TQ052

栏　目

实用技术

出　处

《冶金与材料》2021年第6期，第 70-71 页（共 2 页）

出版日期

2021-12-31

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