粉末冶金法制备高密度磷酸锂靶材

文崇斌，李云洪，朱刘，童培云

先导薄膜材料(广东)有限公司；广东省高性能溅射靶材技术与应用企业重点实验室；广东省薄膜材料工程技术研究开发中心

摘　要

文章采用传统的一步真空热压法制备磷酸锂陶瓷靶材。主要研究不同烧结温度对磷酸锂陶瓷靶材相对密度、抗弯强度的影响。通过真空热压反应前后物相变化及组分变化，探究该方法制备磷酸锂靶材的可行性。通过对磷酸锂陶瓷靶材进行分析，结果表明，随着烧结温度的升高，靶材的相对密度不断升高，各项力学性能也呈现正相关趋势。650℃时，靶材的相对密度和抗弯强度达到最大值，分别是96.84%、66.21Mpa，原料及靶材的杂质含量少，且物相稳定单一。

关键词

磷酸锂；粉末冶金；烧结温度

分类号

TM912；TQ174.6

栏　目

实用技术

出　处

《冶金与材料》2023年第12期，第 82-84+87 页（共 4 页）

出版日期

2023-12-28

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