新型硫酸盐电镀铜添加剂研究
欧阳劲,刘芳斌,谢丰海
赣州赛可韦尔科技有限公司
- 摘 要
- 本实验旨在研发一种新型电镀铜添加剂,在使电镀铜镀层平整、细腻、光亮的同时满足镀液稳定性较好的条件。文章选取聚二硫二丙烷磺酸钠(SPS)作为光亮剂,聚乙烯吡咯烷酮作为抑制剂,二苯胺磺酸钠、对甲苯磺酰肼作为整平剂。通过单一添加剂实验,确定组分最佳的浓度范围,再进行组合添加剂实验,进一步优化浓度范围,最后进行工艺参数的优化。确定了SPS在18~25mg/L、聚乙烯吡咯烷酮在40~100mg/L、二苯胺磺酸钠在28~110mg/L、对甲苯磺酰肼在5~30mg/L,在温度20~25℃、电流密度1.0~1.5A/dm~2条件下镀层质量达到最优效果。
- 关键词
- 硫酸盐镀铜;添加剂;镀液;铜镀层
- 分类号
- TQ153.14
- 栏 目
- 实用技术
- 出 处
- 《冶金与材料》2024年第11期,第 112-114 页(共 3 页)
- 出版日期
- 2024-11-28
- 知网数据
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